等離子體表面工藝的應(yīng)用

等離子體表面工藝主要用于以下兩方面。

①   離子體表面處理：

  為了提高刀具、模具等的性能，可以用等離子體對(duì)金屬表面進(jìn)行氮、碳、硼或碳氮的滲透。這種方法的特點(diǎn)是,不是在表面加一覆蓋層，【真空等離子清洗機(jī)】而是改變基體表面的材料結(jié)構(gòu)及其性能。

  處理過(guò)程中，工件溫度比較低，不使工件變形，這對(duì)精密的部件很重要。這一方法可以應(yīng)用于各種金屬基體，主要有輝光放電滲氮，氮碳共滲，滲硼。

  ②等離子體在電子工業(yè)中的應(yīng)用：

  大規(guī)模集成電路片心的生產(chǎn)工藝，過(guò)去采用化學(xué)方式，現(xiàn)在采用等離子體方法代替之后，不僅降低了工藝過(guò)程中的溫度，還因?qū)⑼磕z、顯影、刻蝕、除膠等化學(xué)濕法改為等離子體干法，使工藝更簡(jiǎn)單，便于實(shí)現(xiàn)自動(dòng)化，提高成品率。【常壓等離子設(shè)備】

等離子體方法加工的片心分辨率及保真度都高，對(duì)提高集成度及可靠性均有利。

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